■ステージの移動
CONTROL_MOVE_STAGE
ワールド座標(μm単位)で指定する位置にステージを移動します。
次の場合は失敗します。
・通信が接続されていない場合
・稼働範囲外の場合
・移動中の場合
・通信エラーの場合
・要求メッセージの書式
CONTROL_MOVE_STAGE△X位置,Y位置
・応答メッセージの書式
SUCCESS|FAILURE